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有(you)研究者以Al2O3為添加劑,通過熱壓燒結工藝(yi),也實現(xian)了碳化(hua)硅的致密(mi)化(hua),并認為其機(ji)理是(shi)液(ye)相(xiang)燒結。此外,還有(you)研究者分別以B4C、B或B與C,Al2O3和(he)C、Al2O3和(he)Y2O3。

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2008年12月(yue)29日-西(xi)安理工(gong)大學承擔的陜西(xi)重大科(ke)技創新項目“大直徑碳化(hua)硅晶體生長工(gong)藝及設備(2005ZKC05-02)”于2008年12月(yue)24日通過驗收(shou)。由(you)陜西(xi)省科(ke)學技術(shu)廳會同省。

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2006年7月6日-西安理工大(da)學電(dian)子工程(cheng)系(xi)陳治明教授(shou)承(cheng)擔(dan)的陜西省(sheng)重大(da)科(ke)技創(chuang)新項目“大(da)直徑(jing)碳(tan)化硅晶體(ti)生長工藝(yi)及設備”進(jin)展(zhan)順利,目前(qian)已用(yong)該課(ke)題組自(zi)行研制、具有自(zi)主知(zhi)識產權。

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陜西重大科技創新項目“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”通過驗收

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陜西省重大科技創新項目:我校“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”

[摘(zhai)要]一(yi)種制造單晶碳(tan)化硅薄膜(mo)的(de)設備,包括適于接受成(cheng)(cheng)膜(mo)用的(de)SOI基材100的(de)成(cheng)(cheng)膜(mo)利(li)用本(ben)發明(ming)的(de)方法制備碳(tan)化硅納米棒,其工藝實施(shi)簡單、易于大批量(liang)生產、制備溫度低。

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2011年6月14日-適合于采用“新料法(fa)”生產(chan)工(gong)藝冶煉碳化(hua)硅。但(dan)是(shi),太西煤灰分較高(gao),一般在57、選用低“鐵(tie)污染”破碎設備(bei)進行加工(gong)碳化(hua)硅作(zuo)為產(chan)品(pin)銷售時,要(yao)對碳化(hua)硅。

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