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1.4氯(lv)化氫(qing)合(he)成(cheng)工藝簡圖:節硅(gui)粉精(jing)制工藝2.1硅(gui)粉的性質硅(gui)的密度(du)為(wei)2.329kg\cm3,沸點(dian)(dian)為(wei)2355℃,熔點(dian)(dian)為(wei)14801500℃,在三氯(lv)氫(qing)硅(gui)生(sheng)產(chan)中其(qi)水分(fen)小于200ppm。

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