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MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究

在固態裝配型(xing)諧振器(SMR)方面(mian),論文采用上述模型(xing)分析了四分之一波長布拉(la)格反射柵對其(qi)諧振特性的(de)影響,得到了SMR器件獲得理想性能所需的(de)少反射柵對數(shu);另外,考慮到實際。

石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網

壓電層(ceng)的典型厚(hou)度在幾(ji)個微(wei)米或壓力場(chang)看起來與(單(dan)晶(jing)的)石英模式的石英這種類型的BAW被稱(cheng)為固(gu)態裝配諧振器(SMR)。魯棒(bang)性而言,,則可減少諧振器。

ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年

ZnO固態裝(zhuang)配型諧振器(SMR)的模擬分析湯(tang)亮(liang)郝震(zhen)宏喬東海汪承灝摘要:正(zheng)1引言近年來,薄膜體聲波諧振器(FBAR)由(you)于其較小的體積以(yi)及可與IC電(dian)路(lu)進行(xing)單。

布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫

這樣形成的諧振器是固態裝配諧振器(SMR)。在一個實施(shi)例中,襯(chen)底12由硅(gui)(Si)制(zhi)成,PZ層18由氮化鋁(AlN)制(zhi)成。或者,也可(ke)以使用其(qi)他的壓電材料來制(zhi)作PZ層18。在一。

CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google

基于CMOS工藝的高性能(neng)射頻濾波器:體聲(sheng)波濾波器BAW第2頁/共6頁<上一頁下這種(zhong)類型(xing)的BAW被稱為固態裝配諧振器(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比膜結(jie)構的BAW要好(hao)。

基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫

這種類型的BAW被稱為固(gu)態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜(mo)結構的BAW要好很多(duo)。在劃(hua)片和裝配所需(xu)的各種標(biao)準(zhun)工序中,沒有(you)機(ji)械(xie)損壞的風(feng)險。壓電層和電極層上。

基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)

和(he)電極做(zuo)成膜(mo)結構或一并沉積到一個薄的(de)支撐膜(mo)上,形成空氣一固體交界面;還有一種方式是(shi)采(cai)用“聲波(bo)鏡(jing)”形成反射面來實現,這(zhe)種結構被稱為“固態(tai)裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。

薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網

鋯(gao)鈦酸鉛溶膠凝(ning)膠諧(xie)振(zhen)器建立微(wei)型體聲波(bo)諧(xie)振(zhen)器機(ji)械結(jie)構的等效電(dian)路模型,運用PSPICE軟(ruan)件研究4湯亮;郝震宏;喬東海;汪(wang)承灝;;ZnO固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)。

龍俞兆-技術總結-道客巴巴

[0003]壓(ya)電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)可以(yi)分類為FBAR(膜(mo)(mo)體聲諧(xie)振器(qi)(qi))型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi)(qi))型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。

PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文

上述聲波器(qi)件的示例為諸如FBAR(膜(mo)體(ti)聲波諧(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態(tai)裝配諧(xie)振器(qi))的薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。

CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-

聲(sheng)諧(xie)振器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)通過電極(ji)壓(ya)電疊(die)層(18)引(yin)入的溫度(du)感應效應的鐵磁補償(chang)器(qi)(20;120;和220)。該補償(chang)器(qi)具有正(zheng)頻(pin)率溫度(du)系數,而疊(die)層具有負。

BAW_百度文庫

包含這些壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器的(de)濾波器也受(shou)到關注(zhu)。[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器的(de)例子包括FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)器,Solidly。

CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer

將上(shang)述壓(ya)電薄膜諧(xie)振(zhen)器分為兩(liang)種類(lei)型,FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器)。FBAR包(bao)括層(ceng)疊在諸如硅或玻(bo)璃的(de)(de)基板上(shang)的(de)(de)上(shang)電極(ji)膜、壓(ya)電膜和下電極(ji)膜的(de)(de)層(ceng)疊結構。

布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof

包(bao)含這些壓(ya)電(dian)薄膜諧(xie)振器的濾(lv)波器也受(shou)到關注。壓(ya)電(dian)薄膜諧(xie)振器的例子包(bao)括(kuo)FBAR(薄膜腔(qiang)聲諧(xie)振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振器,SolidlyMounted。

CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的

另(ling)外值(zhi)得一提的是(shi),德國的Infneon公司(si)在2003年推出(chu)了(le)具(ju)有布(bu)拉格反射層結構的固貼式(shi)(又(you)稱固態裝配型)薄膜體聲(sheng)波諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。

CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google

0引言固(gu)態(tai)引信諧(xie)振器是電子安全系統的重(zhong)要組成部分(fen)之(zhi)一,它能(neng)在后坐(zuo)加速(su)度和(he)旋轉離心(xin)力的作用下向前運動(dong),使限位保險處于鎖定狀態(tai),從而使引信處于待發狀態(tai)。但(dan)是,。

CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google

毫米(mi)波平(ping)面振蕩器基片集成(cheng)波導(dao)相(xiang)位噪聲(sheng)雙端口壓控(kong)振蕩器注入鎖定諧波振蕩器毫米(mi)波平(ping)面振蕩器是毫米(mi)波平(ping)面集成(cheng)系統(tong)ZnO固態裝(zhuang)配(pei)型諧振器(SMR)的模擬(ni)分析[。

CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google

聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地(di)補(bu)償通過(guo)電極壓電疊層(18)引(yin)入的(de)(de)溫度(du)感(gan)應效應的(de)(de)鐵磁補(bu)償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。

薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴

關鍵詞:微波(bo)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)(qi)時域(yu)有(you)限差分法階梯阻抗諧振器(qi)(qi)(qi)橢圓函數濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)(qi)多層6湯亮;郝震宏(hong);喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固態(tai)裝配型諧振器(qi)(qi)(qi)(SMR)的模擬分析[A];。

固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網

摘要固態(tai)微(wei)型諧振器(qi)的(de)工作頻率高、功(gong)率容量大、損耗低、體積小,是(shi)目前有(you)望第三(san)種為本研究采用反射層聲(sheng)學隔(ge)離固定結(jie)構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖(tu)l一(yi)。

MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期

在固態裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)方(fang)面,論文(wen)采用(yong)上述模(mo)型(xing)分析了(le)四分之一(yi)波長布(bu)拉格反射柵(zha)對其諧振特(te)性的(de)影(ying)響(xiang),得到(dao)了(le)SMR器(qi)件獲得理想性能所需的(de)少反射柵(zha)對數;另(ling)外,考慮(lv)到(dao)實際。

復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-

這樣形成(cheng)的諧振(zhen)器(qi)是固態(tai)裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施(shi)例中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),。

基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子

大字報利用無線(xian)傳(chuan)感(gan)器網絡實現(xian)運動(dong)聲源(yuan)的(de)定(ding)位(wei)與跟蹤錄取,報告用相對運動(dong)幾何求解(jie)BOT問題ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的(de)模(mo)擬分(fen)析PGC解(jie)調光纖傳(chuan)聲器技術的(de)討論一種單。

CN1229917C-Soundwaveresonator-Google

將上述壓(ya)電薄(bo)膜諧振器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄(bo)膜腔(qiang)聲諧振器(qi))和SMR(固態裝配(pei)諧振器(qi))。FBAR包括(kuo)層疊在諸如硅(gui)或玻璃的(de)(de)基板上的(de)(de)上電極(ji)膜、壓(ya)電膜和下(xia)電極(ji)膜的(de)(de)層疊。

無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004

2007年10月(yue)31日(ri)-壓(ya)電薄膜諧(xie)振器(qi)可分成(cheng)FBAR(薄膜塊體聲波諧(xie)振器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。

基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網

該傳感器是混(hun)合(he)型(xing)諧(xie)振無(wu)源諧(xie)振結構,其(qi)可(ke)以在制(zhi)造過(guo)程中被集(ji)成于車輛(liang)地面連接(jie)裝(zhuang)置(zhi)HBAR“高模薄膜體聲波諧(xie)振器”),或(huo)者帶有布(bu)拉格(ge)反射鏡(SMR“固態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振。

基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫

該傳(chuan)感(gan)器(qi)是混合型(xing)諧(xie)振無源(yuan)諧(xie)振結構,其可(ke)以在(zai)制造過(guo)程中被集成于車輛地面連接裝(zhuang)置HBAR"高模(mo)薄(bo)膜體聲波諧(xie)振器(qi)"),或者(zhe)帶有布拉格反射鏡(jing)(SMR"固態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振器(qi)"。

院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(

2010年6月16日-[0020]壓電薄(bo)膜諧(xie)(xie)振器包括FBAR型和SMR型,其中FBAR是薄(bo)膜體聲波諧(xie)(xie)振器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安(an)裝(zhuang)諧(xie)(xie)振器(SolidlyMounted。

CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement

2005年10月5日-將上述壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器分為(wei)兩種類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。

薄膜諧振器技術概述_百度文庫

[0003]壓(ya)電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)(qi)可分成FBAR(薄(bo)膜塊體(ti)聲波諧(xie)振器(qi)(qi))型和SMR(固(gu)態(tai)裝配(pei)諧(xie)振器(qi)(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部電極(ji)、壓(ya)電膜和下部電極(ji)構成的。

龍俞兆-豆丁網

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FBAR雙工器的分析和設計-碩士論文-道客巴巴

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微波固態電路設計_百度百科

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